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모노실란 (SiH
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디실란 (Si
2
H
6
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디클로로실란 (SiH
2
Cl
2
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- DCS
모노클로로실란 (SiH
3
Cl)
- MCS
트리메틸실란
(3MS, SiH(CH
3
)
3
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식각가스
Etching Gases
트리플루오르메탄 (CHF
3
)
헥사플루오르메탄 (C
2
F
6
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사플루오린화탄소 (CF
4
)
옥타플루오로사이클로뷰테인 (C
4
F
8
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펜타플루오로에탄 (C
2
HF
5
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고기능성
Wet Chemical
고선택비인산(HSP)
기타 고순도가스
Other High-Purity Gases
헬륨 (He)
크립톤 (Kr)
제논 (Xe)
사염화규소 (STC,SiCl
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사플루오린화규소 (SiF
4
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포스핀 (PH
3
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아르신 (AsH
3
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Integrated Services
신규 제품 연구 개발, Portfolio 다변화
Gas & IT소재 Package 공급 (Sourcing, 정제, Mixing 등)
품질 & 서비스 Upgrade
물류 Service (통합창고) 운영
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