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2
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ジクロロシラン (SiH
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モノクロロシラン (SiH
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Cl)
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トリメチルシラン
(3MS, SiH (CH
3
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トリフルオロメタン (CHF
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六フッ化エタン (C
2
F
6
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4
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アルシン(AsH
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